瑞典悍達hardox400耐磨板離子束加l的原理和电子束加工原理基本相似,也是在真空條件下,將離子源產生的離子束經過加速聚焦,使之打到工件表面。兩種不同的是離子束加工是離子帶止電荷,其質量比电子大數千、數萬倍,所以一旦離子加速到較高速度時,離子束比电子束具有更大的撞擊動能,它是靠微觀的机械撞擊能量、而不是靠動能轉化為熱能來加工的。
瑞典悍達hardox400耐磨板離子束加工的特點: 1.離子束加工是當代毫微米加工技術的基礎。因為離子束可以通過电子光學系統進行聚焦掃描,離子束轟擊材料是逐層去除原子,離子束流密度及離子能量可以*控制,所以離子刻蝕可以達到毫微米(0.001林m)級的加工精度。離子鍍膜可以控制在亞微米級精度,離子注入的深度和濃度也可以*地控制。 2.因為離子束加工是在高真空中進行,所以污染少,特別適用於對易氧化的金屬、合金材料和高純度半導體材料的加工。 3.加工應力、熱變形極小,加工_質量高,適合於對各種材料和低剛度零件的加工。因為離子束加1_是靠離子轟擊材料表面的原子來實現的,它是一種微觀作用,宏觀壓力很小。 4.離子束加工設備費用貴、成本高,加工效率低,因此應用範圍受到一定限制。 瑞典悍達hardox400耐磨板目前用於改變零件尺寸和表面力學物理性能的離子束加工有:用於從工件上去除加工的離子刻蝕加工;用於給工件表面添加的離子鍍膜加工;用於表面改性的離子注入加工等。
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